产品简介

美国OAI 656 紫外光能测量仪是一款先进型紫外曝光分析仪，专门设计用于接触式/近接式掩膜对准曝光机（Contact/Proximity Mask Aligners）以及泛曝光系统（Flood Exposure Systems）。

美国OAI 656 紫外光能测量仪是一款先进型紫外曝光分析仪，专门设计用于接触式/近接式掩膜对准曝光机（Contact/Proximity Mask Aligners）以及泛曝光系统（Flood Exposure Systems）。

50多年来，OAI在紫外光和能量测量仪器领域取得了全球、领、先地位，其产品用于半导体、MEMS、晶圆封装以及晶圆凸点制造行业中的光刻工艺，实现可靠、精准、经过校准的工艺控制。

Model 656可存储最多400组曝光测量数据，并配备Ethernet（以太网）和USB接口，用于下载记录的测量数据。

该仪器具有最高达2,000 mW/cm²的光强测量范围。

美国OAI 656 紫外光能测量仪提供多种波长探头，包括：

220nm

248nm

254nm

260nm

310nm

325nm

365nm

380nm

400nm

420nm

436nm

540nm

OAI拥有完整的校准实验室，用于保持测量仪器的性能、质量和可靠性。

Model 656仪表符合NIST标准可追溯要求，并符合RoHS2和CE标准。

产品特点

用于接触式/近接式掩膜对准曝光机（Contact/Proximity Aligners）

极、高的测量准确性和可靠性

可轻松下载测量数据

测量范围最高可达2,000 mW/cm²

内存最多可存储400组测量数据

符合RoHS2和CE标准

产品应用

OAI Model 656 UV Light & Energy Meter用于：

接触式掩膜对准曝光系统

近接式掩膜对准曝光系统

泛曝光系统

适用于：

半导体光刻工艺

MEMS制造工艺

晶圆封装工艺

晶圆凸点制造工艺

探头（Probes）

探头规格

探头波长（nm）

支持以下波长：

220nm

248nm

254nm

260nm

310nm

325nm

365nm

380nm

400nm

420nm

436nm

540nm

滤光片

采用：

多层吸收/介电滤光片（Multi-layer absorption dielectric filters）

OAI Model 656 UV Light & Energy Meter规格参数

仪表规格（Meter Specifications）

项目参数

用户界面触摸屏

计算机接口可选以太网和USB接口，用于下载记录的测量数据

电源电池供电，采用带充电保护功能的3.7V锂离子电池

充电器电源110-240 VAC

显示设置两个显示界面

显示界面

1. 设置界面（Setup Screen）

显示内容：

以太网地址（Ethernet Address）

日期（Date）

时间（Time）

2. 运行界面（Run Screen）

显示内容：

波长（Wavelength）

光强（Intensity）

时间（Time）

能量剂量（Dose）

探头温度（Probe Temperature）

探头类型（Probe Type）

偏差百分比（Percent of Deviation）

序列号（Serial Number）

校准到期日期（Calibration Due Date）

电池状态（Battery Status）

探头序列号（Probe Serial Number）

充电器状态（Charger Status）

c81a4edd-59b3-4e10-a172-730c8d4…

测量参数

参数规格

存储容量最多400组测量数据

光强范围最高2,000 mW/cm²

光强分辨率0.01 mW/cm²

能量剂量范围最高1000 J/cm²

能量剂量分辨率0.01 mJ/cm²

时间范围最高9999秒

时间分辨率0.0001秒

最小曝光剂量25 ms

c81a4edd-59b3-4e10-a172-730c8d4…

外形尺寸及工作环境

项目参数

尺寸14" × 8.25" × 3.5"

重量3.5 lbs

工作环境15℃～40℃

符合标准RoHS2和CE（EMD及安全）

探头规格（Probe Specifications）

项目参数

探测器硅光电二极管（Silicon photodiode）

可用波长220nm、248nm、254nm、260nm、310nm、325nm、365nm、380nm、400nm、420nm、436nm、540nm

滤光片多层吸收/介电滤光片

光强范围最高2,000 mW/cm²

互换性任意Model 656探头均可用于任意Model 656仪表

符合标准RoHS2和CE（EMD及安全）

产品优势

精准可靠的紫外曝光测量

Model 656能够为光刻工艺提供可靠、准确并经过校准的紫外光强度与能量测量。

专为接触式/近接式掩膜对准曝光系统设计

该仪器专门用于：

Contact Mask Aligners

Proximity Mask Aligners

Flood Exposure Systems

支持多波长测量

提供220nm至540nm范围内多种波长探头选择，可满足不同曝光系统的测量需求。

大容量数据存储

仪器最多可存储400组曝光测量数据。

数据下载功能

通过可选Ethernet和USB接口，可下载记录的测量数据。

OAI Model 656 UV Light & Energy Meter

产品名称：

OAI Model 656 UV Light & Energy Meter

中文名称：

OAI Model 656 紫外光强度与能量测量仪

产品类型：

UV曝光分析仪 / 紫外光强测量仪 / 紫外能量测量仪

主要应用：

接触式/近接式掩膜对准曝光机及泛曝光系统的紫外光强度和能量测量

制造商：

OAI（Optical Associates, Inc.）

选型表：